센서 소형화 : 나노전자기계시스템
이미지 출처: “MEMS 개요” 네이버 블로그(2019), NICE디앤비 재가공 나노전자기계시스템(Nano Electro - Mechanical system, 이하 NEMS)는 나노단위의 초소형 3차원 구조물 또는 이를 포함하는 시스템 구현 기술이다. SPM (Scanning Probe Microscope), AFM(Atomic Force Microscope)과 같은 최신 현미경 기술을 이용하여 원자, 분자 레벨의 극미세구조를 형성하고, 미세가공기술과 조합하여 전자, 기계, 빛 재료 등 다양한 분야를 융합시킨 입체적 미세구조나 회로, 센서, 엑츄에이터를 실리콘 기판 위에 집적하여 시스템을 설계한다. NEMS는 센서뿐만 아니라 엑츄에이터에 사용이 가능하며, 나노기술을 통해 구성된 나노센서 및 나노엑츄에이터..
2022. 4. 29.
